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传感器逐渐将变成微型化发展
发布时间:2017-02-23 0:00:00   来源: 压力传感器
  各种操控仪器设备的功用越来越大,有些精密仪器或设备,体积自身就小,还需要接上各种传感器进行感知和操控,这也

  对传感器微型化提出了更高的请求。因此传感器自身体积也是越小越好,这就请求开展新的资料及加工技能,如今使用硅资料制

  作的传感器体积现已很小。如传统的加速度传感器是由重力块和绷簧等制成的,体积较大、稳定性差、寿数也短,而使用激光等

  各种微细加工技能制成的硅加速度传感器体积十分小、互换性可靠性都较好。微型传感器能够不受空间巨细制约而安放在狭小位

  置上,并有对被测目标的状况搅扰小、时刻应快和本钱低一级长处。曩昔制造传感器一边用眼看一边用手加工,即是机械加工也受

  到机械才能的约束。以集成技能为根底的微细加工技能则否则,能把电路加工到光波数量级,而且可批量生产,价格便宜。

  集成电路加工技能由三大摹本技能构成:平面电子工艺技能;有挑选的化学腐蚀技能和机械切开技能。这三项技能都能进行

  三维加工。平面电子工艺技能是把在硅外表生成的氧化膜作为一种掩膜,在具有掩膜的硅单晶上进行具有空间挑选的分散和腐蚀加

  工。所以平面电子工艺技能包含照相制版技能、杂质分散技能、离子注入技能和化学气相堆积技能等。使用有挑选的化学腐蚀技

  术能对由平面电子工艺技能制造而成的氧化物掩膜和已分散了杂质的半导体物体空间进行有挑选的化学腐蚀加工。使用这种技能

  能够在特定方向上把硅体腐蚀掉,能够进行三维加工。这种微加工技能能够把物体加工成极微细的可动部件,如应力杆状物,开

  关乃至马达等。

  美国斯坦福大学已把曩昔相当大的连搬遥都艰难的气相色谱仪集成在直径5cm的硅片上,制成超小型气相色谱仪,如今的

  传感器概念已跳出本来意义的小圈子,而是以微型、集成化和智能化为特征的微体系。该微体系除具有自测验、自校准和数字补

  偿的微处理器以外,还具有微执行器。现代的微细加工技能已把微传感器、微处理器和微执行器集成在一块硅片上构成微体系。

  Mems技能的开展使微型传感器进步到了一个新的水平,使用微电子机械加工技能将微米级的灵敏元件、信号处理器、数据

  处理设备封装在同一芯片上,它具有体积小、价格便宜、可靠性高级特色,而且能够明显进步体系测验精度。

  MEMS技能是跟着半导体集成电路微细加工技能和超精密机械加工技能的开展而开展起来的。凭借MEMS技能的开展,传感

  器技能将朝着微型化、智能化、多功用化的方向开展,这也正合适自动化和工业操控对传感器功能的需要。如今选用Mems技能可

  以制造检查力学量、磁学量、热学量、化学量和生物量的微型传感器。因为Mems微型传感器在下降轿车电子体系本钱及进步其性

  能方面的优势,它们已开端逐渐替代根据传统机电技能的传感器。Mems传感器将变成国际轿车电子的主要构成有些。

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